Ваш город:
Екатеринбург
Екатеринбург
-13...-8° C
Название: Жидкостное химическое травление
Категория: Рефераты
Предмет: Химия
Описание:
Для компенсации подтрава при изотропном жидкостном травлении размеры элемента на фотошаблоне следует уменьшать. На рис. 3 показана компенсация размера окон в шаблоне для разных степеней анизотропии травления. Д
Последнее добавление
01.03.2012
Химия